等離子噴涂陶瓷熱障涂層采用的主要為氧化釘部分穩(wěn)定氧化錯(cuò)及氧化硅氧化鋁系列陶瓷材料。熱障涂層具有優(yōu)越的耐高溫性能與低的熱傳導(dǎo)率,并具有良好的抗高溫燃?xì)鉀_蝕和抗熱震性能,能在8o0 ℃-1600℃高溫條件下穩(wěn)定的工作,為耐高溫零部件穿上"防火鎧甲",延長基體材料的使用壽命。
應(yīng)用方向:
1.航空、艦船及陸用燃?xì)廨啓C(jī)的受熱部件,發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒室;火箭噴管、民用內(nèi)燃機(jī)、增壓渦輪、熱處理退火爐等的保護(hù)涂層。
2.石墨制品的耐高溫保護(hù)涂層,粉末冶金燒結(jié)、釬焊等治具的抗高溫氧化保護(hù)涂層等。
3、半導(dǎo)體、蝕刻機(jī)、半導(dǎo)體元器件燒結(jié)。
涂層材料:
1.YSZ (ZrO2-Y,O,7%)︰熱導(dǎo)率低,抗高溫燃?xì)鉀_蝕。
2.YCZ (ZrO,-Y,OR-CeO,)︰抗高溫氧化能力強(qiáng),抗熱震能力強(qiáng),具有有機(jī)物燃燒催化功能。用于內(nèi)燃機(jī)活塞頂部耐熱燃燒催化涂層,可使排氣中未燃燒有機(jī)物含量減少80%以上。
3.Al,O;∶耐高溫腐蝕,熱穩(wěn)定性好。對(duì)光和高溫輻射有很高的反射率。
4.莫來石(Al,OR-SiO;)︰耐高溫腐蝕,耐酸性好,耐爐渣侵蝕及抗高溫?zé)煔忸w粒沖蝕。
5.氧化記 (Y:O)︰耐等離子體腐蝕,應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片蝕刻,耐高溫1500-2000度。